8英寸硅光平台通线,助力国内硅光芯片产业发展
11月4日,陕西光电子先导院8英寸先进硅光集成技术创新平台正式通线,总投资7.5亿,构建自主可控工艺体系。硅光芯片优势多,应用广。国内硅光产业曾面临困境,中试平台可提高产业化成功率。光电子先导院形成双平台格局,陕西形成三大产业集群,还将构建新平台架构助力产业发展。...
铌酸锂薄膜集成技术突破 推动硅光平台发展
中国科学院团队通过“万能离子刀”技术,在六吋图形化SiN晶圆上集成高质量铌酸锂薄膜,制备出高速数据传输电光调制器,为硅光平台与薄膜铌酸锂晶圆级异质集成量产奠定基础。...


