8英寸硅光平台通线,助力国内硅光芯片产业发展
AI导读:
11月4日,陕西光电子先导院8英寸先进硅光集成技术创新平台正式通线,总投资7.5亿,构建自主可控工艺体系。硅光芯片优势多,应用广。国内硅光产业曾面临困境,中试平台可提高产业化成功率。光电子先导院形成双平台格局,陕西形成三大产业集群,还将构建新平台架构助力产业发展。
11月4日,陕西光电子先导院科技有限公司(下称“光电子先导院”)总经理杨军红宣布,“8英寸先进硅光集成技术创新平台”(简称“8英寸硅光平台”)已正式通线,可为光子产业各类创新主体提供光电、硅光芯片的研发、中试服务。这一硅光平台的建设,标志着我国在硅光芯片领域迈出了重要一步,硅光芯片发展前景广阔。
该平台总投资7.5亿元,于2023年底启动建设,引进了比利时IMEC“130nm硅光芯片工艺包”,配备了光刻、刻蚀等60余台(套)关键核心设备,在130nm有源集成硅光主工艺平台基础上,开发90nm以上先进工艺,已构建起自主可控的先进工艺体系。

硅光芯片是一种基于硅材料微纳加工工艺的光电芯片,用于实现光学变换或者光电转换。硅光芯片凭借其高集成度、低成本以及光子信号高速、低损耗、抗干扰等特性,在人工智能、智能驾驶、医疗健康等领域得到了广泛应用,成为科技发展的新宠。
长期以来,国内硅光创新产业项目面临“建不起产线、产品无法验证、产能无话语权、市场风险高”的共性困境。国内企业依托国外平台流片以及量产线流片,不仅需支付高昂流片费用,且面临流片周期长、产能优先供给限制等问题。自建产线则需巨额的设备和产线建设投入,让大量中小企业和科研团队望而却步。
区别于标准量产代工厂,中试平台通过小批量试产、全流程验证,解决工艺不稳定、成本不可控等问题,将实验室成果转化为可量产的产品,可提高产业化成功率。目前,武汉、北京、上海、重庆等地已有硅光中试线正在运营,为硅光芯片产业发展提供助力。
“从硬件上来讲,大家的设备选型配置没有质的差别。随着我们的硅光平台正式通线,光电子先导院已经形成了‘6英寸化合物光电芯片+ 8英寸硅光芯片’的双平台格局,成为国内少数具备全链条中试能力的创新载体,可有效缩短光电、硅光客户的流片周期,降低研发成本。”陕西光电子先导院副总经理付鹏说。
杨军红以“天高任鸟飞、海阔凭鱼跃”来形容光子产业的市场发展空间。目前陕西省已形成光子材料与芯片、先进激光与光子制造、光子传感三大核心产业集群,聚集379家光子领域硬科技企业,总产值超过350亿元。她认为,从技术的角度来看,中试平台需要满足客户的定制化需求,在技术上不容易同质化,同时还要在运营模式上下功夫,找到新的合作模式共享成果。她同时提到目前公司正在进行新一轮融资,主要用于工艺研发,为硅光芯片发展注入新动力。
杨军红透露,光电子先导院正在构建“化合物半导体+硅光+异质异构集成”三位一体的平台架构,为光通信、生物传感、人工智能等前沿领域提供关键支撑,助力陕西成为光子产业高地。
(文章来源:第一财经)
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