界面新闻记者 | 张熹珑

　　广东珠海是国内集成电路起步最早的城市之一，但长期以来设计业“一业独大”。现在，这座城市正进军相对薄弱的半导体制造环节。

　　5月23日，珠海恒格微电子装备有限公司（简称“恒格微电子”）发布了国内首台晶圆级等离子多驱解离刻蚀设备，标志着国内高端半导体制造核心装备领域取得重大技术突破。

　　该设备突破了多项“卡脖子”技术难题，具备高效率、高均匀性、高兼容性的特点，可广泛应用于集成电路、第三代半导体及先进封装领域，适配8英寸至12英寸晶圆制造需求。这一突破对于提升我国半导体制造水平具有重要意义。

　　恒格微电子方面表示，目前已与两家企业达成合作，一家为国内某显示面板龙头企业，双方将针对显示面板制造中的刻蚀工艺需求开展联合研发，推动国产等离子刻蚀设备在显示领域的规模化应用；另一家为三叠纪公司，双方将聚焦TGV-等离子刻蚀设备的迭代研发与产业化应用。预计6月将交付第一台设备。

　　恒格微电子总经理李志强表示，该设备已通过头部晶圆厂验证，并进入量产交付阶段，目前已有超过10家客户有意向。未来，恒格微电子将持续投入，打造覆盖刻蚀、薄膜沉积等全环节的半导体装备矩阵。

　　成立于2005年的恒格微电子，主营业务为等离子体工业应用设备相关领域核心零配件及核心材料研发、生产及销售，产品覆盖PCB/载板领域、传统封装与LED光电领域和半导体领域。此次发布的新品是其向高端半导体装备领域转型的关键一步。

　　刻蚀工艺是集成电路制造的关键环节。根据SEMI数据，刻蚀设备在整个生产线中价值占比约为20%。随着先进工艺刻蚀次数不断提升，对刻蚀设备的数量和质量提出了更高的要求。当前，国产设备企业正加速核心技术突破。

　　在全球市场上，海外厂商长期占据领先地位。但近年来，大湾区频频实现技术突破。例如，深圳新凯来亮相了多款工艺装备，包括四款12英寸刻蚀设备。东莞也发布了全国首台PLP等离子刻蚀设备。

　　珠海除了恒格微电子外，还培育了运泰利自动化、长园半导体设备等新锐企业。数据显示，2024年珠海市集成电路产业实现主营收入194.95亿元，同比增长22.46%。珠海市2025年政府工作报告提出，推动集成电路产业加速迈向“500亿”规模。

　　然而，珠海集成电路产业也存在明显的“偏科”问题。设计业主营收入占了大头，而生产制造、封测、材料等领域的销售收入相对较低。未来，珠海将重点围绕ToC端的AI智能终端产品加强行业供需对接，推动产业均衡发展。

（文章来源：界面新闻）