奥地利维也纳工业大学研究人员开发出一种超紧凑平行板电容结构，刷新了同类结构的微型化纪录，并有望推动量子测量技术和高端精密仪器的发展。该研究采用电学和机械振荡方式替代光学读取方案，实现了对极微弱机械振动的高精度测量。...