AI导读：

奥地利维也纳工业大学研究人员开发出一种超紧凑平行板电容结构，刷新了同类结构的微型化纪录，并有望推动量子测量技术和高端精密仪器的发展。该研究采用电学和机械振荡方式替代光学读取方案，实现了对极微弱机械振动的高精度测量。

据最新一期《先进材料技术》杂志报道，奥地利维也纳工业大学研究人员开发出一种超紧凑平行板电容结构，间隙仅为32纳米，刷新了同类结构的微型化纪录，并在测量精度上逼近量子物理极限。这种结构面向高精度传感器设计，正是原子力显微镜等设备迫切需要的核心部件。此次研究中，纳米膜片与电极形成的电容与电感元件共同构成电学谐振电路。膜片的微小振动会引起电路共振频率的变化，从而实现对极微弱机械振动的高精度测量。研究人员还展示了另一种完全基于机械结构的测量平台，不同的微机械谐振器被集成在同一芯片上，可在室温条件下工作，并在千兆赫兹频率范围内实现有效耦合。