上海微电子装备（集团）股份有限公司近日中标步进扫描式光刻机项目，中标金额约1.09亿元。该步进扫描光刻技术结合了扫描投影光刻和分步重复光刻的优势，适用于0.25μm以下的制造工艺。...
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