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> TAG信息列表 > 高数值孔径EUV
SK海力士引进高数值孔径EUV光刻机 推动半导体技术革新
SK海力士宣布引进业界首款量产型高数值孔径极紫外光刻机,其光学性能提升40%,能制作精密度1.7倍的电路图案,集成度提升2.9倍,推动半导体技术革新。...
2025-09-03
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