中国科学院团队通过“万能离子刀”技术，在六吋图形化SiN晶圆上集成高质量铌酸锂薄膜，制备出高速数据传输电光调制器，为硅光平台与薄膜铌酸锂晶圆级异质集成量产奠定基础。...
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