全球首个纳米级微振动实验室在河北雄安新区正式投运,该实验室核心装置为我国自主研发的全球尺寸最大、精度最高的微振动模拟实验台,将全面服务于半导体制造、航空航天等重点领域,推动我国高精密制造‘软实力’与‘硬装备’协同提升。...