近日，国内首台套12英寸碳化硅晶锭减薄设备、衬底减薄设备成功发货，这标志着国产设备在大尺寸碳化硅加工领域实现新突破。...

近日，由电科装备下属北京中电科公司自主研制的国内首台套12英寸碳化硅晶锭减薄设备、衬底减薄设备成功发货，标志着国产设备在大尺寸碳化硅加工领域实现新突破。...