我国首台串列型高能氢离子注入机成功出束，核心指标达到国际先进水平，标志着我国在半导体制造领域取得重要突破。...

中国原子能科学研究院成功研制出我国首台串列型高能氢离子注入机（POWER-750H），核心指标达到国际先进水平，标志着我国在功率半导体等关键领域的自主保障能力大幅提升。...