近日，国产光刻机领域传出新消息，芯上微装收购威耀实业，成为其全资股东。此次收购或意味着芯上微装重新回到上海微电子旗下相关资产上市平台的定位。据悉，芯上微装在封装用光刻机等设备领域具有实力。...