企查查APP显示，上海微电子装备（集团）股份有限公司近日中标步进扫描式光刻机项目，中标金额约1.09亿元。该技术适用于0.25μm以下的制造工艺，尤其在0.18μm节点及更先进工艺中广泛应用。...

上海微电子装备（集团）股份有限公司中标步进扫描式光刻机项目，设备数量为一台，成交金额1.1亿元。公告显示，中标供应商为上海微电子装备（集团）股份有限公司。...