近日，国产光刻机领域传出新消息，芯上微装收购威耀实业，成为其全资股东。此次收购或意味着芯上微装重新回到上海微电子旗下相关资产上市平台的定位。据悉，芯上微装在封装用光刻机等设备领域具有实力。...

上海芯上微装科技股份有限公司亮相2025湾区半导体产业生态博览会，展示新型化合物半导体光刻机、激光退火设备等创新设备，核心团队来自上海微电子集团。...