中电科风华公司成功研发国内首台先进封装量检测设备，该设备可支持G4.5代基板，具备多模态同步检测能力，并已在关键尺寸精度、套刻精度及缺陷检测灵敏度等方面达到国际先进水平。...

在第十三届半导体设备与核心部件及材料展（CSEAC 2025）上，新凯来展示了量检测设备、刻蚀及薄膜工艺装备、扩散装备等多款系列产品，展台以产品展示为主，无新产品发布。...