全国人大代表郭建增:推动电子特气产业高质量发展
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全国人大代表郭建增在接受上海证券报记者采访时表示,电子特气是集成电路产业链的关键一环,推动其高质量发展至关重要。他指出了我国电子特气行业存在的差距,并提出了加强产业规划、优化资源配置、鼓励技术创新等建议,同时呼吁为电子特气产品提供优惠政策。
“电子特气是集成电路产业链的关键一环,推动其高质量发展已成为行业共识。”全国人大代表、中船集团有限公司学科带头人、中船集团第七一八研究所科技委主任郭建增在全国两会期间,就电子特气行业的发展接受了上海证券报记者的采访。
郭建增长期致力于特种气体行业的观察与研究。他指出,当前全球集成电路产业正经历技术革新与市场变革,中国作为核心成员,正努力缩小与国际领先水平的差距。电子特气被誉为“电子行业的血液”,在集成电路产业链中占据重要地位,约占制造材料市场的13%。它广泛应用于离子注入、蚀刻清洗和薄膜沉积等关键环节,对技术指标、良率以及芯片性能和可靠性具有直接影响。因此,电子特气产业的协调发展对集成电路产业链的自主安全至关重要。
郭建增认为,我国电子特气行业在国际比较中,仍存在明显差距:一是企业同质化竞争严重,导致价格战频发,损害了行业利益。例如,三氟化氮的全球需求为4万吨,而国内产能已超8万吨。二是关键技术落后,我国在电子特气所需的六大类关键技术上整体处于跟随状态,特别是在先进材料方面,与美国、日本和韩国存在差距。三是产业税收支持政策不够精准,影响了产品在国际市场的竞争力。
为缩小这一差距,郭建增建议,应进一步加大对电子特气产业的支持力度。具体措施包括加强国内电子特气产业规划,统筹全国产能布局,通过龙头企业的引领,优化行业资源配置,促进产业健康发展。同时,加强产业监管,统一电子特气行业的安全、环保等行政审批标准,确保行业稳定。
“还应通过鼓励企业自主创新、产学研合作、投资并购和技术引进等方式,拓宽技术来源,加大研发投入。”郭建增表示,相关企业和机构在加强电子特气机理研究、攻克关键技术的同时,应积极融入未来工艺,优化现有工艺,拓展新工艺。
此外,郭建增还呼吁国家关税委员会为电子特气产品设立单独的税则号,为六氟化钨等电子特气产品提供出口退税、补贴或税收减免等优惠政策。
(文章来源:上海证券报)
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