计量支撑集成电路产业新质生产力发展方案
AI导读:
市场监管总局与工信部发布通知,印发《计量支撑产业新质生产力发展行动方案》,聚焦集成电路产业核心计量技术,攻克技术难题,突破瓶颈,形成服务集成电路的计量体系。
人民财讯7月9日电,市场监管总局、工业和信息化部发布关于印发《计量支撑产业新质生产力发展行动方案(2025—2030年)》的通知。此方案聚焦集成电路产业发展需求,针对集成电路核心计量技术支撑展开。重点攻克扁平化量值传递等技术难题,突破晶圆级缺陷颗粒计量测试、集成电路参数标准芯片化等瓶颈。布局新型原子尺度计量装置、标准和方法创新,围绕几何量、光学等关键参量,突破晶圆温度等集成电路计量技术,研究在线计量方法,开展评价,形成服务集成电路的计量体系,助力产业升级。
(文章来源:人民财讯)
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