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今年1到11月，市场监管总局新批准发布85项服务“双碳”工作和精密制造产业发展的国家标准物质，包括72项碳计量标准和13项电子气体标准物质，助力提高测量数据精准性。

记者今天了解到，今年1到11月，市场监管总局新批准发布85项服务“双碳”工作和精密制造产业发展的国家标准物质，为提高碳测量数据和精密制造测量数据精准性提供有力支撑。在服务“双碳”工作方面，批准发布空气中二氧化碳气体、乙烯中一氧化碳和二氧化碳混合气体等72项碳计量国家标准物质。在服务精密制造产业发展方面，批准发布高纯氮、高纯氧等13项电子气体国家标准物质。新批准发布的72项碳计量标准物质中，79.2%由企业研制生产。在半导体器件制造过程中，高纯度电子气体标准物质可用于清洗、刻蚀、沉积等多个关键环节，确保晶圆的纯净度和性能。在集成电路生产过程中，高纯度电子气体标准物质在光刻、离子注入、氧化等工艺中发挥着重要作用，保障集成电路的稳定性和可靠性。新批准发布的13项电子气体国家标准物质中，93%的研制单位位于华东、华北地区，呈现出与产业集群协同发展的新趋势。